全自動12”超薄晶圓量測儀
MX6012-DRAT-8C
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♦ 12"晶圓專用，雙機械手臂傳送
♦ 可量厚度、TTV、翹曲度、電阻值、P/N
♦ 可任意設定多進多出分類模式，Throughput可達200wafer/hr以上
♦ 支援SECS/GEM傳輸協定
♦ 支援Wafer Studio 3D顯示功能
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